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真空吸盘概念及真空技术的基本内容

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真空吸盘概念及真空技术的基本内容

发布日期:2018-07-24 来源:本站 点击:

  真空吸盘技术与设备网作为真空产业内权威媒体传播平台,我们以开放的心态为真空产业提供持续发展的技术交流和传播平台!

  真空: 泛指低于一个大气压的气体状态

  特点:

  1 、真空吸盘容器受大气压的作用,压力大小决定于容器内外的压力差;

  2 、真空状态下,气体稀薄,单位体积分子数少,分子之间或与其他质点(如电子、离子)以及器壁的碰撞次数少。

  真空科学与技术的分支学科

  真空技术 :真空获得、测量、检漏、真空系统及元件

  真空冶炼: 铸造、热处理、焊接、单晶体制备

  等离子体科学与技术:磁控溅射、离子镀、CVD、等离子体显示器

  薄膜科学与技术 :蒸发镀、离子镀、CVD、溅射镀膜

  电子材料加工工艺 :电子器件、半导体器件、光电材料、外延、掩膜和刻蚀

  表面科学: 固体表面电子结构、原子结构,隧道显微镜,表面性能测试

  应用表面科学 :紫外光电子能谱、x光电子能谱等表面分析仪器

  纳米科学与技术: 材料制备、性能测试与分析、应用

  真空度的单位及真空区域的划分

  真空度

  是对气体稀薄程度的一种客观量度,最直接的物理量应该是每单位体积中的分子数,由于历史原因,真空度的高

  低通常用气体压强表示,气压低,真空度高,反之,真空度低。

  气体压力: 气体作用于单位面积器壁的压力。单位: 达因/ 厘米 2 和牛顿/ 米 2 。帕


  真空度测量:

  早期采用Hg 柱高度测量压强,1 大气压=760mmHg后来发现Hg 有7 种同位素,密度不同,这样同一汞柱表示出

  来的压强不唯一。第10 届国际计量大会决定改用帕来定义标准大气压,规定:1 标准大气压(atm )=1.013 ×10 5 Pa ,大气压的1/760 称为1 托(Torr ),1 托几乎等于1mmHg ,

  1Torr=1/760Pa=133.33Pa ;

  1mbar=100Pa=0.75 mmHg

  1PSI=6895Pa=68.95mbar=51.715 mmHg

  真空区域的划分:

  真空区域的划分没有统一标准,国内划分也不统一,一般分

  为5 个区域:

  粗真空 760~10 Torr

  低真空 10~10 -3 Torr

  高真空 10 -3 ~10 -8 Torr

  超高真空 10 -8 ~10 -12 Torr

  真空技术的应用

  广泛应用于工业生产、科学研究的各个领域。

  例如:压力差制成真空吸盘、真空送料;电子管、离子加速器(碰撞少);冶金工业:真空冶炼、脱气、精炼、热处理、稀有金属、半导体材料制备;食品工业,真空保鲜、包装、冷冻干燥;活性物质防氧化(延长寿命,灯泡);表面物理学(洁净表面进行充分实验研究)

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